王潇不知道二三十年后的光刻机到底长什么样子,也许她在网上看过图片,但她真的不记得了。
她只知道1999年,花费了大把真金白银,以及包括了五国工程师无数心血的光刻机是个大家伙,长4米,宽3米。
没有炫目的灯光,也没有振奋人心的声响,只有控制台上跳动的数据和状态灯,显示激光正在冰冷而忙碌地工作。
曝光后的硅片被送入一旁的离线检测设备——测量电子显微镜。
显微镜图像被实时投射到观察室的屏幕上。图像清晰显示出一排排线条均匀、边缘锐利、间距为035微米的电路图案。
“经过测量,我们当前套刻精度已经达到了180纳米。这意味着我们已经成功集成了对准系统,并实现了基本的功能。”
黄有伦博士一直聚精会神地看着,到最后才问了一句:“180纳米?”
光刻厂的总工郑教授点头:“我们也知道,1995年,日本尼康公司用了248n波长的氟化氪准分子激光器作为光刻机光源后,制程节点就推进到180—130n。现在尼康、佳能、asl已经能实现差不多70纳米的水平。跟人家比起来,我们还有很长的路要走。下一步,我们准备通过优化算法、提升机械稳定性,将指标推进到100纳米的门槛。”
黄博士犹豫了一下,还是选择了追问:“你们用的是谁家的技术授权?”
做光刻机确实很难,他今天来这一趟,倒不是说对国产光刻机有多足的信心,而是纯粹给江副主任面子。
他既然准备在上海创业,那肯定要跟地方政府打好关系。
江副主任跟他一样,有海外留洋经历,是少见的懂专业技术的官员,他天然能够跟他们技术出身的人打成一片。
可以说,江副主任会是他今后在政府巨大的人脉。
所以,即便没什么指望,他依然把今天的时间空出来,全当陪太子读书。
结果没想到还读出了一个惊喜来。
对对对,它确实落后了国际先进技术一个代际,但也只是一个代际而已啊。
他原本以为,国产的光刻机起码要落后两到三个代际的。
以正常的技术发展路径,他的专业告诉他,纯国产机应该达不到这个水平。
郑教授摇头:“不,没人授权给我们,我们自己做的。老底子是45所的技术,后来又有德国工程师和日本工程师的加盟。”
全世界从日本挖半导体人才不是什么秘密,所以黄博士听到这点并不惊讶。
但是他还是觉得不现实,想了半天,他才开口问:“那你们的镜头是从日本还是从德国买的?”
这回是光刻机厂的厂长抢先说了话:“不,是我们自己做的。我们有自己的光学厂,除了生产眼镜、望远镜,显微镜之类的。”
他像轻描淡写一般,声音的幅度都不变,“刚才我们检测用的电子显微镜,这个,就是我们自己产的。”
这话不亚于一枚炸·弹,江副主任毕竟不是专业搞半导体的,所以还没有反应过来,其中的价值,黄博士已经倒吸一口凉气:“你们自己产的?”
不对,这怎么可能做的出来呢?就是蔡司级别的光学企业才能做到的呀。
郑教授点头:“因为我们有自己的磁流变抛光技术。”
这下子,不由得黄有伦不怀疑他们在撒谎。
因为磁流变抛光技术是一项颠覆,彻彻底底的颠覆。
1988年,苏联的科学家首次提出来的时候,美国光学中心罗切斯特大学主任 stephen jabs公开表达过自己的怀疑。
怀疑它像苏联的众多所谓的伟大技术一样,是为赢而赢的谎言。
但是这位主任自己跑去看了人家的技术之后,瞬间就折服了。
然后在他的牵头下,苏联一解体,这个项目的整个技术小组被打包送去了美国。
然后过了没几年,他们就推出了全球首个商业化的磁流变超精密磨床,将磁流变抛光技术真正带入了工程应用阶段。
可以说,眼下除了他家以外,谁也做不到这一点。
如果在场的人告诉他,他们是用了自己的手段,通过种种路径突破了国际技术封锁,买到了磁流变抛光设备,那么他还能勉为其难地相信。
毕竟再禁运又怎样,谁都不会跟钱过不去。
但你要说你自己做出来了,是不是吹牛吹过头了?
王潇脸上浮出笑,意味深长道:“先生,这项技术其实原本应该属于苏联。”
这不是什么社会主义不社会主义,而是国际主流。
在半导体界,工程师工作过程中获得的专业技术发明的归属,它应该遵循的是职务发明的相关规定,一般属于企业。
原因非常简单,因为这整个过程当中,这工程师使用的基本都是企业的资源。
如果你用单位的资源,搞了发明创造,最后出的成果只属于你本人,那么今后不会有任何一个单位会提供资源让员工去创新技术。
要知道,100个人去搞发明创造,都未必会有一个人成功,失败的那些资源消耗成本承担的呀,也是由单位来承担的呀。
白俄罗斯的科学家们带走了原先单位的技术,其行为本质很难说光明正大。也就是苏联解体了,否则要打起知识产权官司,谁输谁赢,相当难说。
王潇声音轻轻的:“我们是和白俄罗斯的bea公司共同开发的,最早是他们公司提出的磁流变抛光技术。研究成果,我们双方共享。”
黄博士都不知道该说什么了。
走了核心技术人员,白俄罗斯的bea公司在大家看来,就已经废掉了。毕竟所有的事情都得靠人做。
但他毕竟在出国之前,已经在国内生活了20多年,他的父母也是知识分子。他知道在社会主义体系下,科研工作的模式和一般资本主义国家不太一样。
也许只有社会主义国家的人才理解,白俄罗斯的bea公司——这家已经废掉的公司真正的价值。